無塵車間設立的要求

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無塵車間，亦稱為潔凈室或無塵室。無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和*密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成*的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵車間中用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無塵車間是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(無塵車間)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。

建好一個無塵車間,要根據實際的生產流程設定相應的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎上,再確定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級.然后確定相應的換氣次數或是截面風速.然后布置送回風口,設計潔凈送風機組(大小,位置,風機空調選型等),設計送回新風管道等