半導體工業制造過程中無塵車間占據多大的影響力

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所謂的無塵車間是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境（無塵車間）潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

半導體工業是極*密的工業，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。

為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程應該在無塵車間內進行，集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資，多因為需要一個無塵車間。而且為保持無塵車間的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規定；10000與100000級，應該穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級（含）以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩。

依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalStandard（FS）209E,1992】，可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵車間的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5?m，例如，1級、10級、100級無塵車間**大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5?m，無塵車間等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2?m（塵粒尺寸在0.2?m或更大下，密度不大于75顆/立方英?），1級在0.1?m（塵粒尺寸在0.1?m或更大下，密度不大于35顆/立方英）。而集成電路制造所需的無塵車間之潔凈度應該優于1000級。

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