無塵潔凈室工程為何要控制好溫濕度

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無塵車間為什么要控制溫度和濕度?主要的作用是什么，有什么措施？青島凈化工程有限公司**凈化工程裝修，為您解答一下！

無塵車間的溫濕度主要根據您的加工工藝要求來確定。在加工工藝條件下，要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高，對工藝的溫濕度要求越來越高，應該達到一定的溫濕度水平。例如，在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中，用作掩模材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數差越來越小。對于直徑為100um的硅晶圓，溫度升高1度，線性膨脹為0.24um。因此，它應該有一個恒定的溫度±0.1度。同時要求濕度值一般較低。半導體車間怕鈉，這樣的車間不應超過25度。濕度過大會造成更多問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會凝結。如果發生在*密設備或電路中，會引起各種各樣的事故。在50%的相對濕度下容易生銹。

，對于大多數潔凈空間，為了防止外部污染的侵入，需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維持一般應遵循以下原則:

1.高清潔度空間的壓力要高于鄰近低清潔度空間的壓力。

2.潔凈室之間的門應向高度潔凈的房間敞開。

3.清潔空間的壓強比非清潔空間的壓強大。

壓差的維持取決于新風量，新風量應能補償在此壓差下從間隙漏出的空氣。因此，壓力差的物理意義是當泄漏(或滲透)的空氣量通過潔凈室的各種間隙時的阻力。

對于亂流風淋室，由于空氣的稀釋主要用來降低室內污染程度，所以空氣交換頻率的概念主要用來代替速度的概念，但對于室內空氣流速也需要滿足以下要求

1.出口氣流速度不宜過大。與簡單的空調房間相比，需要更快的速度衰減和更大的擴散角。

2.水平面上吹過的氣流速度(如側進時的回流速度)不宜過大，以免吹起的表面顆粒回流到氣流中，造成二次污染。這個速度一般不適合0.2m/s的干度。

在我國，《空氣清潔技術措施》和《清潔廠房設計規范》都是這樣規定的

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s